R41制冷劑，中文名稱一氟甲烷、氟甲烷、甲基氟，是一種生產(chǎn)氟溴甲烷的原料。
R41制冷劑用途
高純HFC-41氣體是一種綠色、高效的新型蝕刻氣，可選擇性地蝕刻硅化合物的薄膜，常用于半導(dǎo)體及電子產(chǎn)品的蝕刻制程中。
R41制冷劑參數(shù)
| 名稱：R409B，HCFC-409B | 分類：混合制冷劑 |
| 分子量：96.5 | 摩爾質(zhì)量：96.5g/mol |
| 沸點(diǎn)：-36.5℃ | 臨界溫度：107℃ |
| 臨界壓力：4.7MPa | 臨界密度：0.51g/cm3 |
| 破壞臭氧潛能值：0.033 | CAS編號(hào)：75-45-6/2837-89-0/75-68-3 |