R-116制冷劑，中文名稱六氟乙烷，商品名稱R-116，是一款特種超低溫制冷劑，主要用作絕緣氣、等離子蝕刻劑,高介電強度冷卻劑等。
R116制冷劑用途
R116作為一款特種超低溫制冷劑，主要應用于要求溫度非常低的深冷設備中(包括科研制冷、醫(yī)用制冷等)，R116同時也是超低溫配合冷媒的重要組分。
六氟乙烷是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
R116制冷劑參數(shù)
| 名稱：R116、FC-116 | 中文名稱：六氟乙烷，電子級氟碳，全氟乙烷，氟里昂116 |
| 英文全稱：hexafluoroethane | 化學分子式：CF3CF3、C2F6 |
| 分子量:138 | 標準沸點：-78℃ |
| 臨界溫度:20℃ | 臨界壓力：3MPa（絕壓） |
| 臨界密度：0.613g/cm3 | CAS編號：76-16-4 |