R14作為一款特種超低溫制冷劑,主要應(yīng)用于要求溫度非常低的深冷設(shè)備中(包括科研制冷、醫(yī)用制冷等),R14同時(shí)也是超低溫配合冷媒的重要組分。
超低溫R14用途
R14作為一款特種超低溫制冷劑，主要應(yīng)用于要求溫度非常低的深冷設(shè)備中(包括科研制冷、醫(yī)用制冷等)，R14同時(shí)也是超低溫配合冷媒的重要組分。四氟化碳(四氟甲烷)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗(yàn)劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
超低溫R14性質(zhì)
R14是無色無臭無味不燃的易壓縮性氣體。微溶于水。揮發(fā)性較高，是最穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一，在900攝氏度時(shí)，不與鋼、鎳、鎢、鉬反應(yīng)，僅在碳弧溫度下緩慢分解，對(duì)熱非常穩(wěn)定，化學(xué)性質(zhì)比四氯化碳更不活潑。
R14制冷劑參數(shù)
| 冷媒名稱 | R-14 |
| 分子量 | 88.0 |
| 沸點(diǎn)（1atm），℃ | -128 |
| 臨界溫度，℃ | -45.67 |
| 臨界壓力，kPa | 3740 |
| 飽和蒸氣壓（25℃），kPa | 3650（-45.6℃） |
| 汽化熱/蒸發(fā)潛熱（沸點(diǎn)下，1atm），kJ/kg135.7 | 135.7 |
| 破壞臭氧潛能值（ODP） | 0 |
| 全球變暖潛能值(GWP，100 yr) | 5700 |
| ASHRAE安全級(jí)別 | A1（無毒不可燃） |